特許
J-GLOBAL ID:200903069259483641

振動子駆動装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 恩田 博宣 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-076275
公開番号(公開出願番号):特開2001-333583
出願日: 2001年03月16日
公開日(公表日): 2001年11月30日
要約:
【要約】【課題】 静電駆動型振動子の振動状態の検出誤差等の変動を抑制し、且つ、同振動子の起動時の振動振幅の立ち上げ時間を短縮することができる振動子駆動装置を提供する。【解決手段】 駆動装置40は、駆動電極13に駆動信号を出力して駆動枠11及び検出枠12をx方向に振動駆動するとともに、この駆動枠11のx方向の振動による変位を変位信号として検出する。そして、駆動装置40は、検出された変位信号に基づき駆動枠11の振動振幅が一定になるように一定の振幅を有する駆動信号の交流電圧成分及び検出された変位信号に基づき増減制御される駆動信号の直流電圧成分を生成する。また、駆動装置40は、起動時には、定常時よりも大きい振幅を有する駆動信号の交流電圧成分を生成する。
請求項(抜粋):
静電駆動型振動子に駆動信号を出力して該静電駆動型振動子を振動駆動する駆動手段と、該静電駆動型振動子の振動による変位を変位信号として検出する検出手段と、該検出された変位信号に基づき該駆動手段から出力される駆動信号を生成制御する振幅調節手段とを備えた振動子駆動装置において、前記振幅調節手段は、定常時において第1の振幅を有する前記駆動信号の交流電圧成分を生成し、起動時において該第1の振幅よりも大きい第2の振幅を有する該駆動信号の交流電圧成分を生成する交流電圧成分生成手段と、前記検出された変位信号に基づき増減制御される該駆動信号の直流電圧成分を生成する直流電圧成分生成手段とを有し、定常時において、前記生成された第1の振幅を有する交流電圧成分及び直流電圧成分からなる駆動信号に基づき、前記静電駆動型振動子の振動駆動力を制御して、該静電駆動型振動子の振動振幅が一定になるように調節を行い、起動時において、前記生成された第2の振幅を有する交流電圧成分及び直流電圧成分からなる駆動信号に基づき、前記静電駆動型振動子に対してより大きな振動駆動力を印加して該静電駆動型振動子の振動振幅を増大することを特徴とする振動子駆動装置。
IPC (3件):
H02N 1/00 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (3件):
H02N 1/00 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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