ベストフォーカスの検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-263779
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124838
出願日： 1994年10月27日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】観測対象物の表面状態に影響を受けにくく、専用の装置が不要なベストフォーカスの検出方法を提供する。【構成】レンズの光軸上に配置された観測対象物の、ある直線に沿った光強度分布を得る工程と、前記光強度分布を微分して、微分光強度分布を求める工程と、前記微分光強度分布の前記ある直線に沿った自己相関関数を求める工程と、前記レンズと前記観測対象物との相対距離を変化させて、前記光強度分布を得る工程から前記自己相関関数を求める工程までを繰り返す工程とを含む。

請求項（抜粋）：

レンズの光軸上に配置された観測対象物を前記レンズによって結像させた像の、像面内のある直線に沿った光強度分布を得る工程と、前記光強度分布を微分して、微分光強度分布を求める工程と、前記微分光強度分布の前記ある直線に沿った自己相関関数を求める工程と、前記レンズと前記観測対象物との相対距離を変化させて、前記光強度分布を得る工程から前記自己相関関数を求める工程までを繰り返す工程とを含むベストフォーカスの検出方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 531 J , H01L 21/30 526 A

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭53-075773
特開昭61-236117
特開昭62-272531

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