特許
J-GLOBAL ID：200903069262085290
静電チャック装置および静電チャック方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-320575
公開番号（公開出願番号）：特開平6-169008
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、安定したチャッキングを行うことをのできる静電チャック装置および静電チャック方法を提供することを目的とする。【構成】 本発明の静電チャック方法では、試料が静電チャック装置の試料支持台に接触する前は低電圧を印加しておき、試料支持台に接触すると高電圧を印加するようにしている。また本発明では、電極3が埋め込まれ、表面が絶縁化された試料支持台1と、試料支持台1に対する高さを変化できるように構成され試料を載置して、下降せしめ試料支持台に接触可能なように構成され接地電位に接続された導電性の支持棒8と、前記電極に電位を付与するための電源6と、前記支持棒とを流れる電流を検出する電流検出手段13と、前記電流検出手段の電流変化を検知し、前記電源電位を制御する制御手段14とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電極が埋め込まれ、表面が絶縁化された試料支持台に、前記試料支持台から離間した位置に試料を支持し、前記電極と試料およびその周辺部との間に放電が生じない程度の低い電圧を前記電極に印加する工程と前記試料を動かし前記試料支持台に接触したとき、前記電極により高い電圧を印加し静電的に保持する工程とを含むことを特徴とする静電チャック方法。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
, H01L 21/302
