特許

J-GLOBAL ID：200903069263973220

プラスチック製回折格子の反射防止膜

発明者： 新田 佳樹 ,  秋元 文二 ,  三田村 宣明 ,  池田 浩 ,  川俣 健 ,  徳田 一成 ,  豊原 延好 ,  生水 利明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-123085
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306303
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 従来の成膜装置を用いて、生産性良く、充分な密着性を確保して、回折効率低下のないプラスチック製回折格子の反射防止膜を提供する。【構成】 プラスチック製回折格子の基板上に形成した多層反射防止膜であって、基板側から第1層目を光学的膜厚ndが2nm以上のSi酸化物とし、第2層目以降にMoO3 またはWO3 を少なくとも含む層を1層以上含むように構成する。MoO3 、WO3 はSi酸化物と密着性が良い。また、MoO3 、WO3 を基板に真空蒸着するとき、蒸発源からの輻射熱が少なく格子面への熱ダメージがなくなる。

請求項（抜粋）：

MoO3 またはWO3 の少なくともいずれか一方の物質を含む層を、少なくとも1層含むことを特徴とするプラスチック製回折格子の反射防止膜。

IPC (2件)：

G02B 1/11 ,  G02B 5/18