表面処理液および基板表面処理方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-064563
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255991
出願日： 1996年03月21日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】アルカリ性処理液を用いて基板表面の汚染金属を除去する際に、処理液に溶出した金属イオンによる基板の再汚染を防止する。【解決手段】鉄イオンおよび亜鉛イオンの捕捉剤として、ジエチレントリアミン五酢酸を用いる。銅イオンおよびNiイオンの捕捉剤として、トリエチレンテトラミン六酢酸を用いる。Alイオンの捕捉剤として、グルタミン酸を用いる。【表1】

請求項（抜粋）：

被処理物表面の汚染金属を除去するためのアルカリ性表面処理液において、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、およびグルタミン酸のうちの少なくとも一の金属イオン捕捉剤を含むことを特徴とする表面処理液。

IPC (7件)：

C11D 7/04 , B08B 3/08 , C11D 7/18 , C11D 7/26 , C11D 7/32 , C23G 1/14 , H01L 21/304 341

FI (7件)：

C11D 7/04 , B08B 3/08 Z , C11D 7/18 , C11D 7/26 , C11D 7/32 , C23G 1/14 , H01L 21/304 341 L

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