特許
J-GLOBAL ID：200903069272419251
磁気記録媒体およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-168218
公開番号（公開出願番号）：特開2005-004899
出願日： 2003年06月12日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
【課題】室温で下地層、磁性層をこの順に形成することができ、高性能で高信頼性の記録が可能であり、かつ安価な高容量の磁気記録媒体およびその製造方法を提供する。【解決手段】非磁性基板面に、下地層および磁性層をこの順に形成した磁気記録媒体であって、磁性層は強磁性金属合金と非磁性酸化物からなるグラニュラ構造をもち、下地層はRu、ReまたはRhを主成分とし、Co、Cr、Al、FeまたはVを含有する合金であって、下地層内で基板から遠ざかるにつれてRu、ReまたはRhの組成比率が減少していることを特徴とし、上記支持体を真空室に導入し、冷却キャンに密着させた状態で下地層または磁性層をスパッタリング法により形成する際に、支持体搬送方向に対し、1カソードに対し分割したターゲットを配置し、下地層および磁性層を成膜する際の基板温度を0〜80°Cとし、徐々に組成を変えた下地層および磁性層を形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
非磁性基板の少なくとも一方の面に、下地層および磁性層をこの順に形成した磁気記録媒体であって、上記磁性層は強磁性金属合金と非磁性酸化物からなるグラニュラ構造をもち、上記下地層はRu、Re、Rhから選ばれる少なくとも1種を主成分とし、少なくともCo、Cr、Al、Fe、Vから選ばれる1種の元素を含有する合金であって、下地層内で基板から遠ざかるにつれてRu、Re、Rhから選ばれる少なくとも1種の組成比率が減少していることを特徴とする磁気記録媒体。
IPC (4件)：
G11B5/738
, G11B5/65
, G11B5/73
, G11B5/851
G11B5/738
, G11B5/65
, G11B5/73
, G11B5/851
5D006BB07
, 5D006CA01
, 5D006CA05
, 5D006CB01
, 5D112AA03
, 5D112AA05
, 5D112BD03
, 5D112FA04
, 5D112FB02
, 5D112FB19
, 5D112GB01
