特許
J-GLOBAL ID：200903069274604188
基板洗浄・乾燥装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-211462
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036659
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】方形状の基板を洗浄部及び乾燥部に搬送して基板の表裏面を乾燥する基板洗浄・乾燥装置において、洗浄及び乾燥能率の向上を図ると共に、洗浄及び乾燥効果の表裏の均一化を図る。【構成】複数枚の基板1を垂直状に収容する基板供給部2と、洗浄・乾燥された基板1を垂直状に収容する基板取出部7との間に、基板1の表裏面に向って開口するノズル3,5を有する基板洗浄部4と基板乾燥部6を配設する。基板供給部2から基板洗浄部4及び基板乾燥部6を貫通して基板取出部7に連通する搬送通路中に配設される基板搬送手段8を、基板1の下端部に接触する駆動機構18と、基板1の上端部を移動可能に案内するガイド部19とで構成する。これにより、基板1を垂直状に搬送しながら基板1の表裏面の洗浄及び乾燥を行うことができる。
請求項（抜粋）：
方形状の基板を洗浄部及び乾燥部に搬送して、上記洗浄部で基板の表裏面を洗浄した後、上記乾燥部で基板の表裏面を乾燥する基板洗浄・乾燥装置において、複数枚の上記基板を垂直状に収容する基板供給部と、基板洗浄部と、基板乾燥部と、洗浄・乾燥された基板を垂直状に収容する基板取出部と、上記基板供給部から上記基板洗浄部及び基板乾燥部を貫通して上記基板取出部に連通する搬送通路中に配設される基板搬送手段とからなり、上記基板搬送手段を、基板を垂直状に支持すべく基板の上端部を移動可能に案内するガイド部と、基板の下端部に接触する駆動機構とで構成してなることを特徴とする基板洗浄・乾燥装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, B08B 11/04
, G02F 1/1333 500
, H05K 3/26
