特許
J-GLOBAL ID：200903069275609078
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069296
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260409
出願日： 1993年03月03日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 低コストで、熱処理されるべき薄板状の基板の形状及び大きさの変化に迅速に対応できるダイレクト方式の熱処理装置を提供する。【構成】 第2の金属板4Bの上方主面24側に複数の吸着孔6が形成されるとともに、その下方主面26側にそれらの吸着孔6と接続された溝部28が形成される。したがって、第1の金属板4A上に第2の金属板4Bが配置されると、溝部28の開口が第1の金属板4Aで塞がれ、実質的に横孔が形成され、その横孔空間を減圧することにより、第2の金属板4Bに基板10が吸着固定される。
請求項（抜粋）：
加熱源あるいは冷却源として機能する熱源と、前記熱源上に配置された第1の板と、前記第1の板上に配置され、その上方主面で熱処理対象となる薄板物を搭載する第2の板とを備えた熱処理装置であって、前記第2の板の上方主面側に複数の吸着孔が形成されるとともに、第2の板の下方主面側に前記複数の吸着孔と接続された開口が形成されたことを特徴とする熱処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, H01L 21/324
, H01L 21/68
