特許
J-GLOBAL ID：200903069275970579
集積光学装置とその製法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-071661
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130235
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 集積化した光学装置及びその製法を提供する。【構成】 金属膜を光導波管の芯に密に近接させることによって生じる実効的な複素数屈折率の変化を利用して、多くの装置を形成することができる。この発明は、基板(10)、下側被覆(14)、導波管の芯(16)、金属膜(22)を支持する着脱自在の上側被覆(18)、及び膜を撓ませる電極(12)で構成された構造と、それを作る方法を提供した。この構造を含む切換え可能な装置は、これに限らないが、偏光子、モード変換器、光スイッチ、ブラッグ装置、方向性結合器及びチャンネル形導波管を含む。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板の上に形成された下側被覆層と、膜を静電偏向する様に、前記下側被覆の一部分の下又は上に配置された少なくとも1つの電極と、前記下側被覆の上にあって、該下側被覆よりも屈折率が一層大きい材料の芯層と、該芯層の上に形成されていて、選択的に除去可能であって、前記芯層よりも屈折率が一層小さい上側被覆層と、該上側被覆層の上にある金属層とを有し、該金属層は前記上側被覆層の選択的な除去を行なう為のアクセス孔を持っており、前記金属層が縁でだけ支持されている集積光学装置。
引用特許：
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