特許
J-GLOBAL ID:200903069279799700
圧電振動子
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-042067
公開番号(公開出願番号):特開2001-230655
出願日: 2000年02月18日
公開日(公表日): 2001年08月24日
要約:
【要約】【課題】 短冊状振動子において厚み滑り振動と結合する厚み屈曲振動モードを抑圧する手段を得る。【解決手段】 長手方向をX軸、幅方向をZ’軸、厚さ方向をY’軸とした短冊状ATカット水晶基板の中央に形成した仰角θ1 ゚、θ2 ゚の台形状の凸部と、該凸部と対向する基板裏面とに対向電極を設けて圧電振動子を構成する。
請求項(抜粋):
長手方向をX軸、幅方向をZ’軸、厚さ方向をY’軸とした短冊状ATカット水晶基板上にXY’断面の形状が台形状である凸部を前記水晶基板と一体的に形成し、該凸部上面と対向する基板裏面とに対向電極を設けたことを特徴とする圧電振動子。
IPC (2件):
FI (2件):
H03H 9/19 D
, H01L 41/08 C
Fターム (6件):
5J108BB03
, 5J108CC04
, 5J108CC08
, 5J108CC12
, 5J108DD02
, 5J108DD05
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭58-047316
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特開昭58-047316
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特開昭58-047316
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