特許

J-GLOBAL ID：200903069281617414

静電モータおよびその製造方法

発明者： 宇田 芳己 ,  藤田 博之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-033269
公開番号（公開出願番号）：特開平6-245551
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】 フォトファブリケーションプロセス技術を用いて製造されるマイクロ静電モータにおいて、ロータ下部との接触面に、該ロータの形状、主としてロータに形成された穴の配置パターンと相似な突起を持つ静電モータを作成することにより、ロータ下部の摩擦を低減しようとするものである。【構成】 各ステータ電極は、基板上に絶縁されて複数個設けられ、そのロータ側の端部はある直径の円周上に放射状に配列され、ロータ下部との接触面には、ロータに形成された穴の配置パターンと相似な突起の配置パターンが形成されることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

フォトファブリケーションプロセスにおいて製造され、ステータとロータ間に作用する静電気力によって回転するモータにおいて、ロータに形成された穴の配置パターンと、ロータとの接触面に形成された突起の配置パターンとが相似であることを特徴とする静電モータ。