特許

J-GLOBAL ID：200903069285841939

ペリクル

発明者： 生田 順亮 ,  菊川 信也 ,  有島 浩
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-259161
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083690
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】波長150〜200nmにおいて優れた光透過性を有し、かつ同波長域の紫外線を照射しても光透過率が低下しないペリクルを提供する。【解決手段】OH基濃度が100ppm以下であり実質的に還元型欠陥を含まない合成石英ガラスからなるペリクル材を有してなることを特徴とする。特に、OH基濃度が10ppm以下であり、157nmにおける内部透過率が80%/cm以上であることが好ましい。

請求項（抜粋）：

OH基濃度が100ppm以下であり実質的に還元型欠陥を含まない合成石英ガラスからなるペリクル材を有してなることを特微とするペリクル。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  C03C 3/06 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/14 J ,  C03C 3/06 ,  H01L 21/30 502 P

Fターム (6件)：

2H095BC33 ,  4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062MM04 ,  4G062NN16 ,  4G062NN35