特許
J-GLOBAL ID：200903069288967739
タッチ信号プローブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-333824
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190707
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 組み立てが容易であるとともに性能安定性の向上が図れるタッチ信号プローブを提供すること。【構成】 一端に被測定物と接触する接触部20Aが設けられるとともに略中央部が支持部材22で支持された振動子20を水晶、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛、PZT等の圧電材料から形成し、この振動子20の略中央部に加振用電極30及び検出用電極32を蒸着等により形成する。
請求項（抜粋）：
一端に被測定物と接触する接触部が設けられるとともに圧電材料から形成された振動子と、この振動子の略中央部に形成されるとともにこの中央部を振動の節として振動子を振動させる電圧が印加される一対の加振用電極と、前記振動子の略中央部に形成されるとともに振動子の振動を電気的な信号として取り出す一対の検出用電極と、前記振動子の略中央部を支持する支持部材とを含むことを特徴とするタッチ信号プローブ。
IPC (3件)：
G01B 7/00
, G01B 21/00
, G01B 21/20
