特許

J-GLOBAL ID：200903069293014286

基板保持装置

発明者： 糠山 正明
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-277010
公開番号（公開出願番号）：特開平10-102249
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 基板に熱膨張が生じても、それをうまく逃がすことによって、基板に割れや欠け等の不具合が生じることを防止する。【解決手段】 クランパー6の基板2側の面の複数箇所に、転がり可能な球18を、その先の部分がクランパー面から突き出るように収納し、基板2をこの球18によってベース4に向けて押さえ付けるように構成した。

請求項（抜粋）：

基板を支持するベースと、基板の周縁部をこのベースに向けて押さえ付ける枠状のクランパーとを備える基板保持装置において、前記クランパーの基板側の面の複数箇所に、転がり可能な球をその先の部分がクランパー面から突き出るように収納し、前記基板をこの球によって押さえ付けるように構成したことを特徴とする基板保持装置。

IPC (5件)：

C23C 14/50 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

C23C 14/50 D ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/317 B ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/265 603 D