特許
J-GLOBAL ID：200903069295431534
圧電体の加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-125143
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218527
出願日： 1991年04月26日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】[目的] 圧電体に対して内部歪を生ずることがなく、クラックを発生させずに複雑な形状を付与するように加工を行なうための方法を提供することを目的とする。[構成] 圧電体22の表面に感光性ポリウレタン樹脂21を用いてパターンマスクを形成し、このパターンマスク21の上から遊離砥粒を含む固気2相流を噴射装置30の噴射口31から高速で噴射させることによって、圧電体22の表面にパターンを転写加工させるようにしたものである。
請求項（抜粋）：
圧電体の表面にマスクを形成し、該マスクが形成されている表面に遊離砥粒を含む固気2相流を噴射し、前記マスクと対応するパターンを前記圧電体に転写加工するようにしたことを特徴とする圧電体の加工方法。
IPC (3件)：
H01L 41/24
, B24C 1/04
, B24C 3/32
