特許
J-GLOBAL ID：200903069299251212
マスフローコントローラー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-029835
公開番号（公開出願番号）：特開平5-233068
出願日： 1992年02月18日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】従来のマスフローコントローラーのセンサー部には細い管を使用しているため、詰り易く、センサーに熱を加えているため、測定値がドリフトし、経時変化が起り、センサーの校正が必要であり、また、バイパスラインを形成しているため気体の滞流を生むという欠点があるので、これらの欠点を解決することを目的とする。【構成】気体流路をほぼ単管に近い構造とし、固定オリフィス2及び、2つの圧力計8,9により流量を測定し、可変バルブ7にフィールドバックをかけ流量を制御する構成である。
請求項（抜粋）：
ほぼ単管に近い形状の気体流路に固定オリフィスを備え、前記固定オリフィス部に第1の圧力計を設け、その前段に第2の圧力計を設け、前記第1及び第2の圧力計から得られた出力信号により制御される可変バルブにより、前記第2の圧力計が設けられている流路に流入する気体量を制御することを特徴とするマスフローコントローラー。
IPC (2件)：
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