特許
J-GLOBAL ID：200903069300666316
電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164205
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016526
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】製造ラインに組込まれている走査型の電子顕微鏡において、ウェハ12上に電子線を最適に絞り微小な凹凸をも認識できるようにする。【解決手段】電子線が通過し得るスリット1a幅をもつ絞り板1をウェハの面と同一平面内になるようにステージ9に配置し、さらに、電子線とスリット1aとを相対的に移動したとき絞り板1のスリット1aを通過する電子線を捕捉するファラディカップ2を設け、適宜に収束された電子線をファラディカップで捕捉し該電流を信号波形に形成し、その波形によって電子線のスポット径を求め、ウェハ表面の凹凸を識別する分解能をもつ所望のスポット径に電子線を調節する。
請求項（抜粋）：
電子銃から放出される電子線を収束するコンデンサレンズと、収束された前記電子線を整形するアパーチャと、整形された該電子線をステージ上に載置される板状の試料に集束する対物レンズと、集束された前記電子線を前記試料上に走査させる偏向コイルと、前記試料から放出される反射電子や二次電子を捕獲する検出器とを備える電子顕微鏡において、前記ステージに載置され前記電子線が通過し得るスリットを有するとともに前記試料表面と同一面内に表面をもつ絞り板部材と、前記電子線と前記絞り板部材とが相対的に移動したとき前記スリットを通過する該電子線を捕捉するファラディカップと、前記ファラディカップが収集する電流を信号波形として捉える手段とを備えることを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/04 A
, H01J 37/28 B
