特許
J-GLOBAL ID：200903069310964501
表面形状計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-217289
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041733
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：
【要約】【課題】ウェーハなどの被測定対象物の表面形状を効率良く測定する。また距離測定器群を用いて距離測定器の先端不揃いによる誤差を正確に計測する。【解決手段】複数(2つ)の距離測定器(A、B)と、複数(2つの)の距離測定器(C、D)を、移動方向(半径r方向および接線θ方向)に沿って並列に複数組(2組)設けて距離測定器群20を構成している。このため距離測定器群20を被測定対象物の測定面と平行に半径r方向に沿って相対移動させると、所定ピッチ移動する毎に、複数組(2組)の距離測定器(A、B)、(C、D)それぞれで距離が測定される。また距離測定器群20を被測定対象物の測定面と平行に接線θ方向に沿って相対移動させると、所定ピッチ移動する毎に、複数組(2組)の距離測定器(B、D)、(A、C)それぞれで距離が測定される。
請求項（抜粋）：
複数の距離測定器を所定ピッチ離間して設け、これら複数の距離測定器を、当該複数の距離測定器を結ぶ線分方向に、被測定対象物の測定面と平行となるように相対移動させ、前記所定ピッチ移動する毎に前記複数の距離測定器と前記被測定対象物との距離を測定し、前記被測定対象物の測定面全面について測定した全距離データに基づいて前記被測定対象物の表面形状を計測する表面形状計測装置において、前記複数の距離測定器を移動方向に沿って並列に複数組設けてなる距離測定器群と、前記距離測定器群を前記被測定対象物の測定面と平行に相対移動させ、前記所定ピッチ移動する毎に、複数組の距離測定器それぞれで距離を測定する測定手段とを備えたことを特徴とする表面形状計測装置。
Fターム (16件)：
2F069AA62
, 2F069AA66
, 2F069BB15
, 2F069DD15
, 2F069DD30
, 2F069EE23
, 2F069GG04
, 2F069GG63
, 2F069GG65
, 2F069GG74
, 2F069HH09
, 2F069JJ06
, 2F069JJ07
, 2F069JJ17
, 2F069NN00
, 2F069NN15
