特許

J-GLOBAL ID：200903069311884510

ダイアモンド砥粒の回収方法

発明者： 田原 暎二 ,  佐藤 英幸 ,  小川 清広
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-171812
公開番号（公開出願番号）：特開平11-012562
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】 ダイアモンド砥粒を含む研磨スラリー廃液からダイアモンド砥粒を回収する。【解決手段】 研磨スラリー廃液を遠心分離して固形分を濃縮し、これを水洗して含まれている分散剤などを水に溶解させて除去したのち、酸で処理して被研磨材に由来する金属成分を溶解除去して、ダイアモンド砥粒だけを残す。

請求項（抜粋）：

ダイアモンド砥粒及び分散剤を含む研磨スラリー廃液を遠心分離してダイアモンド砥粒を含む固形分を濃縮し、これを水洗して分散剤を除去したのち、酸で処理して共存している被研磨材由来の金属成分を溶解除去することを特徴とする、ダイアモンド砥粒の回収方法。

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 ,  B04B 1/20 ,  B24B 57/02 ,  C02F 1/38

FI (4件)：

C09K 3/14 550 F ,  B04B 1/20 ,  B24B 57/02 ,  C02F 1/38