特許
J-GLOBAL ID：200903069314102962
加速度センサ及びその製造方法、当該加速度センサによる加速度検出方法、並びに加速度センサアレイ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-040459
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225243
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】 3次元型の加速度センサを提供する。【構成】 角枠状のフレーム1の開口部分2中央に重り部3を配設し、4本のビーム4により重り部3をフレーム1に支持させ、重り部3が揺動自在に変位できるよう重り部3の周辺部に空間5を形成する。重り部3全体に不純物を導入して、重り部3の側面やその上面及び下面に可動電極6を形成する。フレーム1の内側面には可動電極6と対向させて固定電極7を形成する。フレーム1上面にカバー8bを接合し、カバー8bの内面には重り部3上面の可動電極6と微小なギャップ10bを隔てて固定電極11bを対向させる。フレーム1下面に窪み9を形成したカバー8aを接合し、窪み9の内面に重り部3下面の可動電極6と対向させて固定電極11aを形成し、加速度センサAを作成する。
請求項（抜粋）：
六面体をした重り部を、弾性を有するビームによって支持部に支持させて、前記重り部の3軸方向にそれぞれ少なくとも1つの前記重り部側面に設けた可動電極を配置し、前記各可動電極と対向して固定電極を設けたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, C23F 1/00
, H01L 29/84
