特許
J-GLOBAL ID：200903069317498018
マスク保持方法とマスク、並びにこれを用いたデバイス製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-299918
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153665
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 水平方向に対して傾けた場合でも高精度にマスクを位置決め保持できるキネマティックマウント方式を提供すること。【構成】 マスクに設けた円錐孔部1a 、V溝部1b 、平面部1c と、マスクチャックに設けた3つの突起部と2a 乃至2c をそれぞれ係合させて、クランプアーム3によって押し付け、3か所でマスクを保持する方法において、最初に円錐孔部を係合させて3自由度(XYZ)を確定し、次いでV溝部を係合させて2自由度(θX,θY )を確定、最後に平面部を係合させて残りの1自由度(θZ )を確定する。
請求項（抜粋）：
マスクに設けた円錐孔部、V溝部、平面部と、マスクチャックに設けた3つの突起部とをそれぞれ係合させて押し付け、3か所でマスクを保持する方法において、該円錐孔部を最初に押し付けることを特徴とするマスク保持方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 1/14
, B23Q 3/06 302
