特許
J-GLOBAL ID：200903069319940036
カラーフィルタ製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-068811
公開番号（公開出願番号）：特開平7-281171
出願日： 1994年04月06日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 カラーフィルタ製造処理に当って、高稼働率の維持、作業効率の向上、加工不良品の発生の低減、高収率化を達成する。【構成】 カラーフィルタ製造装置を構成する工程のうち、少なくとも2つの工程1,2を連続させ、各工程1,2の所定位置にインライン検査装置1c,2bおよび不良品抜き取り装置1d,2cを配置した。
請求項（抜粋）：
カラーフィルタを製造するための、ブラックマトリクス膜を形成するブラックマトリクス膜形成装置、色の3原色の各色のパターン加工を行なうパターン加工装置、オーバーコート膜を塗布するオーバーコート塗布装置を含むカラーフィルタ製造装置であって、所定位置に、インライン検査装置(1c)(2b)および不良品抜き出し装置(1d)(2c)をこの順に配置してあることを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
IPC (2件)：
G02F 1/1335 505
, G02B 5/20 101
