特許

J-GLOBAL ID：200903069338475778

画像処理方法およびその装置

発明者： 川口 広志 ,  前田 俊二
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-089629
公開番号（公開出願番号）：特開2004-295709
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】TDIイメージセンサの段数を増やして用いる場合、垂直転送効率に起因して正規の転送電荷のほかに転送残り分の電荷もTDI段数に比例して増加し、コントラストが低下してしまう。また、経時変化等に応じたシェーディング補正用のセンサ出力補正データを生成する場合、光学条件に応じて光量分布が異なるために、全ての光学条件でセンサ出力補正用データを取得する必要があり多大の時間が必要となる。【解決手段】本発明では、TDIイメージセンサの垂直転送効率から各TDI段の垂直転送残りを算出してTDIイメージセンサの出力から減算することで垂直転送残りを除去し、イメージセンサ出力の補正を行うようにした。また、幾つかの光学条件(照明光学系、検出光学系、走査方向等)で取得したイメージセンサ出力補正用データと予め取得した全光学条件でのイメージセンサ出力から算出した光量分布から、各光学条件のイメージセンサ出力比を算出し、全ての光学条件のイメージセンサ出力補正データを生成し、イメージセンサ出力の補正を行うようにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一次元イメージセンサを該一次元イメージセンサの長手に直角な方向(TDI段方向)に複数並べた構成の時間遅延積分型(TDI)イメージセンサを用いて試料を撮像して得た画像を処理する方法であって、前記TDIイメージセンサの垂直転送効率から前記TDI段方向に並ぶ各イメージセンサの垂直転送残り量の総和を予め求め、前記TDIイメージセンサで試料を撮像したときの該TDIイメージセンサの出力から前記予め求めた垂直転送残り量の総和を減算し、該減算した出力を用いて画像処理することを特徴とする画像処理方法。

IPC (6件)：

G06T1/00 ,  H04N1/10 ,  H04N1/107 ,  H04N1/19 ,  H04N1/401 ,  H04N5/335

FI (6件)：

G06T1/00 460A ,  G06T1/00 460D ,  H04N5/335 P ,  H04N1/04 103E ,  H04N1/10 ,  H04N1/40 101A

Fターム (36件)：

5B047AA11 ,  5B047AB02 ,  5B047BB03 ,  5B047BC05 ,  5B047BC09 ,  5B047BC11 ,  5B047DA04 ,  5C024CX00 ,  5C024CX35 ,  5C024EX01 ,  5C024HX23 ,  5C024HX28 ,  5C024HX29 ,  5C024JX37 ,  5C072AA01 ,  5C072BA02 ,  5C072BA03 ,  5C072BA08 ,  5C072BA15 ,  5C072EA08 ,  5C072FA03 ,  5C072FA08 ,  5C072FB12 ,  5C072LA12 ,  5C072UA02 ,  5C072UA13 ,  5C077LL04 ,  5C077LL11 ,  5C077LL19 ,  5C077MM03 ,  5C077MM20 ,  5C077PP06 ,  5C077PP71 ,  5C077PQ12 ,  5C077SS01 ,  5C077SS03