特許

J-GLOBAL ID：200903069347407572

液体材料気化装置

発明者： 川本 達司
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-185278
公開番号（公開出願番号）：特開2001-011635
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】 有機溶剤に溶かされた成膜用の金属材料を効率よく気化する。【解決手段】 液体材料を定量で供給する送液ポンプ1と、液体材料を気化する蒸発器6と、液体材料を送液ポンプ1から蒸発器6へ導く配管2、5と、この配管2、5の途中に気体混入部3を設け、液体材料に対し所定の間隔で不活性ガスを混入した後、蒸発器6で液体材料を気化する。

請求項（抜粋）：

液体材料を定量で供給する送液ポンプと、液体材料を気化する蒸発器と、液体材料を前記送液ポンプから前記蒸発器へ導く配管とを備えるとともに、前記配管の途中に気体混入部を設けたことを特徴とする液体材料気化装置。

IPC (2件)：

C23C 16/448 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

C23C 16/448 ,  H01L 21/31 F

Fターム (8件)：

4K030CA04 ,  4K030EA01 ,  4K030LA03 ,  5F045AA04 ,  5F045AC07 ,  5F045EC07 ,  5F045EE02 ,  5F045EE14