基板の研削装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-274236
公開番号（公開出願番号）：特開2002-083794
出願日： 2000年09月11日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】1台の研削装置で、インゴットをスライスして得られた基板の表裏面を片面づつ研削してテ-パ-、うねり、反りをなくした平坦な研削基板を短いスル-プット時間で行うことができる研削装置の提供。【解決手段】左右に一対の研削砥石ユニット4,4を備えるコラム3を基台2上の後列中央部に配置し、該一対の研削砥石ユニットに相対向してそれぞれ2基のチャック機構51,52を備える第1インデックステ-ブル5と第2インデックステ-ブル5を前記コラムの左右に配置し、基台上の中列には前記コラム手前の中央部に基板の第2洗浄機構7を配置し、かつ、中列左側より第1インデックステ-ブル手前に第1基板洗浄機構6、第1ダブルア-ム搬送ロボット9を配置および中列右側より第2インデックステ-ブル手前に第3基板洗浄機構8、第2ダブルア-ム搬送ロボット10を配置し、基台上の前列には、第1ダブルア-ム搬送ロボットおよび第2ダブルア-ム搬送ロボットの手前にそれぞれ1対の基板収納カセット11a,11b,12a,12bを設置したことを特徴とする、基板の研削装置。

請求項（抜粋）：

左右に一対の研削砥石ユニットを備えるコラムを基台上の後列中央部に配置し、該一対の研削砥石ユニットに相対向してそれぞれ2基のチャック機構を備える第1インデックステ-ブルと第2インデックステ-ブルを前記コラムの左右に配置し、基台上の中列には前記コラム手前の中央部に基板の第2洗浄機構を配置し、かつ、中列左側より第1インデックステ-ブル手前に第1基板洗浄機構、第1ダブルア-ム搬送ロボットを配置および中列右側より第2インデックステ-ブル手前に第3基板洗浄機構、第2ダブルア-ム搬送ロボットを配置し、基台上の前列には、第1ダブルア-ム搬送ロボットおよび第2ダブルア-ム搬送ロボットの手前にそれぞれ1対の基板収納カセットを設置したことを特徴とする、基板の研削装置。

IPC (6件)：

H01L 21/304 631 , H01L 21/304 611 , H01L 21/304 641 , H01L 21/304 648 , B24B 7/04 , B24B 55/06

FI (6件)：

H01L 21/304 631 , H01L 21/304 611 A , H01L 21/304 641 , H01L 21/304 648 A , B24B 7/04 A , B24B 55/06

Fターム (8件)：

3C043BA03 , 3C043BA09 , 3C043BA17 , 3C043CC04 , 3C043CC11 , 3C043DD06 , 3C047FF08 , 3C047FF19

前のページに戻る