特許

J-GLOBAL ID：200903069352671504

酸素センサの製造方法

発明者： 杉山 富夫 ,  斉藤 利孝 ,  野村 悟 ,  佐野 博美 ,  鈴木 雅寿
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-110969
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300731
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 固体電解質板のイオン電導性と絶縁層の電気絶縁性を確保でき,下記の4部材が強固に一体的に接合された酸素センサの製造方法を提供すること。【構成】 測定電極12と基準電極15とを表裏面に有する固体電解質板11と,通気路形成板16と,絶縁層21と,発熱体25を有するヒータ基体を一体焼成により製造する。固体電解質板は,平均粒径2.0μm以下のジルコニア粉末と5〜7モル%のY2 O3 と0〜5重量部のアルミナとからなり厚み50〜300μmのジルコニア生シートを用いる。ヒータ基体は,平均粒径1.0μm以下のアルミナ粉末と0〜10重量部のジルコニア又はイットリア安定化ジルコニアとからなり,かつジルコニア生シートの4倍以上の厚みを有するアルミナ生シートを用いる。焼成は,1300〜1600°Cで行う。

請求項（抜粋）：

表面に測定電極を,裏面に基準電極を設けた固体電解質板と,該固体電解質板の裏面側に順次積層配置した通気路形成板と,絶縁層と,発熱体を設けたヒータ基体とを一体焼成してなる,酸素センサの製造方法であって,上記固体電解質板は,平均粒径が2.0μm以下のジルコニア粉末と,該ジルコニア粉末に対して5〜7モル%のイットリアと0〜5重量部のアルミナとからなり,また厚みが50〜300μmで,かつ表面及び裏面には上記測定電極及び基準電極を設けたジルコニア生シートを用い,一方,上記ヒータ基体は,平均粒径が1.0μm以下のアルミナ粉末と該アルミナ粉末に対して0〜10重量部のジルコニア又はイットリア部分安定化ジルコニアとからなり,また上記ジルコニア生シートの4倍以上の厚みを有し,かつ表面に発熱体を設けたアルミナ生シートを用い,上記ジルコニア生シートの裏面側に,順次,上記通気路形成板の未焼成シート,アルミナよりなる絶縁層の未焼成シート及び上記アルミナ生シートを積層し,これらを一体的に加熱焼成することを特徴とする酸素センサの製造方法。