特許
J-GLOBAL ID：200903069356423190
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054928
公開番号（公開出願番号）：特開平7-236989
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、高精密レーザ加工装置の被加工物の位置精度、例えばICメモリの製造現場で行うリペア技術でのアライメントに関する。レーザ加工装置には、装置固有の位置精度のスペックを有しているが、経時変化によりずれが生じることがある。一方、操作においては装置が自動的にアライメント(位置決め)するので、装置の位置精度の劣化に気ずかず、そのまま作業し、ミス加工を続ける場合がある。本発明は装置固有の位置精度にずれが生じると、自動的に警報信号を発し、加工を中断するレーザ加工装置を提供することを目的とする。【構成】 上記目的を達成するために、本発明は、被加工物表面の複数特定点を予め精密測定した位置データと新たな被加工物の特定点のデータとの差データを求め、その差データが許容値内か否かを判断し、許容値外のときは警報信号を出すようにした、記憶手段と演算手段と比較手段と警報手段とこれらを制御する制御手段とからなる構成とする。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器(31)を具備し、レーザ加工を行う前に、弱い光を発光してその反射光を反射光検出部(35)で受光し被加工物(10)の位置データを得、その位置データから被加工物(10)を正しい位置に位置修正してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、被加工物(10)表面の複数特定点を予め精密測定した位置データと新しい被加工物(10)の上記複数特定点の位置を反射光検出部(35)で測定したデータとを記憶する記憶手段(52)と、上記予め精密測定した位置データと上記反射光検出部(35)で測定したデータとを比較し、両者の差データを求める演算手段(53)と、上記差データが、予め設定した許容値以内か否かを判定する比較手段(54)と、上記比較手段(54)での判定が、許容値外であるときに警報信号を発生する警報手段(55)と、上記の制御を行うシステムの制御手段(51)と、を具備することを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/02
, B23K 26/00
, G01B 11/00
, H01L 21/82
