特許
J-GLOBAL ID：200903069357746324
クリーン空間構成装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-279038
公開番号（公開出願番号）：特開2003-090576
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム内に高清浄度の空間を局部的に形成するクリーンベンチを多数配置することは無駄であった。【解決手段】 クリーンベンチをフィルタ4を通して清浄な空気を吹き出すブロウユニット1とブロウユニット1から供給される空気をフィルタ7を通して吸込むドレンユニット5で構成し、各ユニットの間隔を調整可能とする。
請求項（抜粋）：
吸入した空気を圧縮して収容するプレナムチャンバの一部に開口させた開口面にフィルタを配置しこのフィルタを通して清浄化された空気を吹出すブロウユニットと、内部が減圧されるサクションチャンバの一部に開口させた開口面にフィルタを配置しこのフィルタを通して外部の空気を吸入するドレンユニットとを備え、各ユニットの各フィルタを立設して対向させかつ、各フィルタの対向間隔を調整可能としたことを特徴とするクリーン空間構成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F24F 7/06 C
, H01L 21/02 D
3L058BD00
, 3L058BE02
, 3L058BF02
, 3L058BG04
