特許
J-GLOBAL ID：200903069357870890
研磨ラッピングテープ及びその表面処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-257646
公開番号（公開出願番号）：特開平7-088773
出願日： 1993年09月21日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：
【要約】【目的】研磨効率の向上を図る。【構成】フィルム1に砥粒2を保持した樹脂3をコーティングした研磨ラッピングテープにおいて、研磨ラッピングテープの研磨面4の樹脂3を除去して砥粒2を露出させる。
請求項（抜粋）：
フィルムに砥粒を保持した樹脂をコーティングした研磨ラッピングテープにおいて、研磨ラッピングテープの研磨面の樹脂を除去して砥粒を露出させてなることを特徴とする研磨ラッピングテープ。
IPC (2件)：
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