特許
J-GLOBAL ID：200903069370738888
半導体素子の外観検査装置とその方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-082705
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232034
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 検査装置を複雑化することなく、検査時間を短縮できる半導体素子の外観検査装置とその方法を提供する。【構成】 連続したリードフレーム1上に設けられたCCDカメラ2と、CCDカメラ2に接続された画像処理装置3と、画像処理装置3に接続されたデータ処理装置4とから成り、一群の半導体素子10をCCDカメラ2にて同時に観察して読み取り画像に変換し、次いでこの読み取り画像に基づき個々の半導体素子10の良否を画像処理装置3にて判別し、この良否の判別から成る情報を、読み取り画像と同一画像内の一群の半導体素子10ごとに格納する。
請求項（抜粋）：
連続したリードフレーム上で多列に搭載された半導体素子の外観を検査する半導体素子の外観検査装置において、前記リードフレームの上方に設けられ、一群の前記半導体素子を同時に観察する光学読み取り装置と、前記光学読み取り装置に接続され、前記光学読み取り装置からの読み取り画像に基づいて、前記半導体素子の良否を判別するための画像処理装置と、前記画像処理装置に接続され、前記良否の判別から成る情報ファイルが格納されたデータ処理装置とから成ることを特徴とする半導体素子の外観検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G06F 15/62 400
, H01L 21/66
