特許
J-GLOBAL ID:200903069371831695
単結晶引上げ装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
二瓶 正敬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-094906
公開番号(公開出願番号):特開平10-273389
出願日: 1997年03月28日
公開日(公表日): 1998年10月13日
要約:
【要約】【課題】 引上げ中の単結晶を把持具により把持するときに引上げ中の単結晶が多結晶化することを防止する。【解決手段】 左右一対の把持部21L、21R内には単結晶の径拡大部5の中心に向かって多数の穴が形成され、この穴の中にはコイルスプリング22が配置され、コイルスプリング22の先端にはボールベアリング23が取り付けれている。ボールベアリング23はコイルスプリング22により径拡大部5の中心に向かって付勢されており、把持部21L、21Rが閉じて径拡大部5を把持する際に、コイルスプリング22が伸縮してボールベアリング23が径拡大部5の表面に当接する。
請求項(抜粋):
種結晶を支持する種結晶ホルダを回転させながら引き上げる種結晶引上げ手段と、前記種結晶ホルダと共に回転可能で、上下方向に移動可能であって、前記種結晶引上げ手段による引上げにより前記種結晶の下方に形成される単結晶の径拡大部を把持するために先端が開閉可能な把持機構とを有する単結晶引上げ装置において、前記把持機構が前記径拡大部の軸から最も離れた最大径の外周近傍を包み込むよう前記径拡大部を把持する少なくとも2以上の治具を有することを特徴とする単結晶引上げ装置。
IPC (4件):
C30B 15/32
, C30B 15/22
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
FI (4件):
C30B 15/32
, C30B 15/22
, C30B 29/06 502 F
, H01L 21/208 P
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