特許

J-GLOBAL ID：200903069374406103

周期性欠陥検査方法及び装置

発明者： 山口 幸彦
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-180464
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372499
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【目的】 周期性欠陥を精度よく検出する。【構成】 受光器12の光電変換信号をAGC回路28、二値化回路29で二値化する。この二値化信号を基準クロック発生回路35からのクロックに基づきカウントし、幅方向に長さを有する幅欠陥か否かを判定する。周期性欠陥検出部27により、幅欠陥が周期的に発生するか否かを判定する。まず幅欠陥を検出して、次にこれの周期性を判定するので、微小な欠陥によるノイズが排除され、精度よく周期性幅欠陥を判定することができる。

請求項（抜粋）：

連続走行する被検査体に対してその幅方向に走査する検査光を照射し、被検査体で反射又は透過した検査光を光電検出し、この検出信号の信号レベルが増加又は低下した状態を一定長さ以上保持したときに幅欠陥として検出し、この検出した幅欠陥に対してその発生の周期性を判定することを特徴とする周期性欠陥検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/892 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 300

FI (3件)：

G01N 21/892 A ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 300

Fターム (55件)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC02 ,  2F065DD00 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL62 ,  2F065MM03 ,  2F065MM16 ,  2F065PP02 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ47 ,  2F065QQ54 ,  2F065RR09 ,  2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BB11 ,  2G051BC06 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA27 ,  2G051EA30 ,  2G051EB01 ,  2G051FA01 ,  5B057AA04 ,  5B057BA02 ,  5B057BA30 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE02 ,  5B057CE06 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB08 ,  5B057DC04