特許

J-GLOBAL ID：200903069375695192

ペリクルの製造方法

発明者： 鈴木 樹
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109041
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281710
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 粘着剤がペリクル枠の外へはみ出すことがなく、一定の塗布幅および厚さにてペリクル枠に付着し、マスクに貼り付けた際にマスクとの間に隙間を生じないペリクルの製造方法を提供する。【構成】 ペリクル枠に粘着剤を付着させる工程において、あらかじめフィルム状に加工した粘着剤をペリクル枠に貼り付けることを特徴とするペリクルの製造方法。

請求項（抜粋）：

ペリクル枠の片側端面にペリクル膜が貼付され、その反対側の端面に粘着剤を付着させたペリクルの製造方法に関し、ペリクル枠に粘着剤を付着させる工程において、あらかじめフィルム状に加工した粘着剤をペリクル枠に貼り付けることを特徴とするペリクルの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-075835
  
• 特開昭64-048062
  
• 特開平2-247270
  
• 特開昭63-239452