特許
J-GLOBAL ID：200903069384651815
粒子センサ及び粒子検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088075
公開番号（公開出願番号）：特開平7-049303
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【目的】 明視野センサの利点を保持し、かつ従来の明視野センサよりも高い感度を有するようにショットノイズを大幅に削減するような疑似明視野センサとしての粒子センサを提供する。【構成】 粒子がレーザビームを通過することによる位相シフトを利用して粒子を検出する。或る実施例に於いては、レーザビームが、所定の間隔をもって分離された互いに直交する方向に偏光したレーザビーム成分に分割され、非球形のみならず球形の粒子も検出することができる。非球形の粒子のみを検出する別の実施例に於いては、単一のレーザビームが用いられる。
請求項（抜粋）：
粒子センサであって、所定の偏光特性を有するレーザビームを提供するためのレーザ源と、前記レーザビームを、検出されるべき粒子が存在する空間領域を通過させるべくガイドするための光学要素と、前記レーザビームを、概ね互いに直交する向きに偏光した第1及び第2のレーザビーム成分に分割し、前記第2のレーザビーム成分が前記した所定の偏光特性を有するようにするための手段と、前記第1及び第2のレーザビーム成分の強度を検出するために設けられた第1及び第2の光検出器とを有することを特徴とする粒子センサ。
IPC (3件)：
G01N 15/14
, G01N 15/02
, G01N 21/21
