特許
J-GLOBAL ID:200903069388986005
圧電振動子およびこの圧電振動子を用いた圧電振動角速度計
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大西 正悟
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-248211
公開番号(公開出願番号):特開平11-083495
出願日: 1997年09月12日
公開日(公表日): 1999年03月26日
要約:
【要約】【課題】 回転角速度の検出効率が良好であり、なおかつ低コストで量産できる圧電体振動子を得る。【解決手段】 四角柱状に形成され、長手方向軸と直角な方向に分極処理がなされた圧電体101により圧電振動子100が構成される。圧電体101における長手方向軸と平行な四つの側面のうちの分極処理方向と平行な二つの対向側面の一方に、長手方向軸と平行に延びる一対の駆動信号入力用電極105,107を離間形成し、且つこれらの間において幅方向中央を長手方向軸と平行に延びる駆動用基準電極106を形成する。さらに、上記二つの対向側面の他方に、長手方向軸と平行に延びる一対のコリオリ信号検出用電極102,104を離間形成し、且つこれらの間において幅方向中央を長手方向軸と平行に延びる基準電極103を形成している。
請求項(抜粋):
四角柱状の圧電体により構成され、長手方向軸まわりの回転角速度を検出する圧電振動子であって、前記圧電体が前記長手方向軸と直角な方向に分極処理がなされ、前記圧電体における前記長手方向軸と平行な四つの側面のうちの前記分極処理方向と平行な二つの対向側面の少なくともいずれかに、各種電極が形成されてなることを特徴とする圧電振動子。
IPC (2件):
FI (2件):
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