特許
J-GLOBAL ID：200903069393489508
加速度センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319789
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236616
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 信頼性の向上が図れ他軸感度などの商品性能を出荷時点で保証することができる加速度センサを提供する。【解決手段】 半導体エッチング技術によって片持ち梁構造のマス及びビームが形成され、前記ビームにピエゾ抵抗が形成された加速度センサーチップ5及びリードフレーム6を有してなるピエゾ抵抗型の加速度センサであって、基板に実装された状態で、前記ピエゾ抵抗と前記マスの重心が略同一の水平面上に位置するように、実装される基板に対して前記加速度センサーチップ5を傾斜させる傾斜手段を具備した。
請求項（抜粋）：
半導体エッチング技術によって片持ち梁構造のマス及びビームが形成され、前記ビームにピエゾ抵抗が形成された加速度センサーチップ及びリードフレームを有してなるピエゾ抵抗型の加速度センサであって、基板に実装された状態で、前記ピエゾ抵抗と前記マスの重心が略同一の水平面上に位置するように、実装される基板に対して前記加速度センサーチップを傾斜させる傾斜手段を具備したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/12
, H01L 29/84
, H01L 23/50
G01P 15/12
, H01L 29/84 A
, H01L 23/50 Z
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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