特許

J-GLOBAL ID：200903069395034664

プラズマイオン質量分析装置

発明者： 大石 公之助 ,  塚田 正道 ,  奥本 豊治 ,  飯野 敬史
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-306218
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161335
出願日： 1993年12月07日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】安価,軽量小型で、且つ、分析性能が向上したプラズマイオン質量分析装置を提供する。【構成】サンプリングコーン10の外側円板41を冷却ブロック32により冷却し、サンプリングコーン10の細孔44付近の熱伝導率を外側円板41の熱伝導率より低くする。細孔44はプラズマの温度を蓄積するようになり細孔44付近の温度は高く保たれる。一方、外側円板41は効率よく冷却される。

請求項（抜粋）：

真空排気された分析部と、前記分析部の一部をなすサンプリングコーンと、プラズマを発生させ前記サンプリングコーンに接触させるプラズマ発生手段と、前記サンプリングコーンを冷却する冷却手段と、試料を前記プラズマに導く導入手段と、前記プラズマによりイオン化された試料を前記分析部に導入するように前記サンプリングコーンに設けられた細孔を有するプラズマイオン質量分析装置において、前記サンプリングコーンの細孔周辺部分はその外周部よりも熱伝導率が低くなるよう構成されていることを特徴とするプラズマイオン質量分析装置。