特許

J-GLOBAL ID：200903069400554663

プラズマエッチング用電極板

発明者： 箕浦 誠司 ,  堀尾 泰臣 ,  佐藤 正行
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-034059
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232083
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 プラズマエッチング用電極板の両面を使用可能にする。【構成】 プラズマエッチング用電極板20の周縁部に一定間隔で8個の取り付け孔21を設ける。電極板の表面側の取り付け孔の開口部周囲に、1個置きにネジ頭部22aを収容する凹部21aを設ける。電極板の裏面側の取り付け孔の内の、電極板の表面側の凹部形成位置と重ならない取り付け孔の開口部周囲に、ネジ頭部を収容する凹部21bを設ける。凹部21aを設けた取り付け孔を用いて電極板を上部電極部材にボルト止めにより固定する。電極板の表面側が磨耗して凹み、エッチングの均一性に悪影響を与える程度になったとき、電極板を反転させて、凹部21bを設けた取り付け孔を用いて上部電極部材にボルト止めにより固定する。電極板を反転することによっても、ボルト頭部は各凹部に収容されるので、電極板表面からほとんど突出することはない。

請求項（抜粋）：

円板形状を呈し、中央部に多数の反応ガス通過孔を設けるとともに周縁部に所定の間隔で設けられた取り付け孔を有し、同取り付け孔にてプラズマエッチング装置のチャンバ内の上部に取り付けられた上部電極部材にネジ止め固定されると共に同ネジ止め部分が被覆部材により被覆されるプラズマエッチング用電極板において、前記取り付け孔の開口部周囲に設けるネジ頭部を収容する凹部を、前記プラズマエッチング用電極板の両面の所定の取り付け孔の開口部周囲に設けたことを特徴とするプラズマエッチング用電極板。

IPC (2件)：

H01L 21/302 ,  H01L 21/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-023520
  
• 特開昭61-231203
  
• 特開昭61-231203
  
• 特開昭59-023520