特許

J-GLOBAL ID：200903069409426390

ドライエッチング方法およびその装置

発明者： 高山 和久
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 清水 守 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-288377
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251396
出願日： 1991年11月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 受光窓部の透過率の低下に伴う発光スペクトル強度の低下を補償して、高精度のエッチング終点判定を行う。【構成】 エッチングの終点判定を発光スペクトル強度の変化により行う方法および装置において、光源11よりエッチング装置のチャンバ1内に光検出用の窓部を通過するように光を照射して、その透過光の強度を検出し、その光強度から発光スペクトル強度増幅の増幅率の変更等により、発光スペクトルの発光強度の検出出力の低下を補正する。

請求項（抜粋）：

(a)エッチング時に生じる発光スペクトルの発光強度を光検出器により検出してエッチングの終点判定を行う手段と、(b)前記発光スペクトルの発光強度の検出出力の低下を補正する補正手段を具備することを特徴とするドライエッチング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/302 ,  G01J 3/443

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-208218
  
• 特開平2-224232
  
• 特開昭61-097554
  
• 特開昭60-148120