動圧軸受

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-263646
公開番号（公開出願番号）：特開平8-121467
出願日： 1994年10月27日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】ヤング率が300GPa以上、体積固有抵抗値106 Ω・cm以下の焼結体3で動圧軸受を形成する。【効果】撓みが少ないことから安定した動圧特性が得られ、かつ静電気を逃がすことができるため、各種機器に悪影響を及ぼすこともなく、信頼性の高い動圧軸受を得ることができる。

請求項（抜粋）：