特許
J-GLOBAL ID：200903069413569333
電子放出素子と電子源及び画像形成装置と電子放出素子の製法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-078023
公開番号（公開出願番号）：特開平9-265893
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 電子放出素子で、通電フォーミングでなくても十分な放出電流が得られ、放出電流のバラツキが少なく、画像形成装置で安定で、十分な電子放出量のある高性能とすることを課題とする。【解決手段】 電子放出素子特に表面伝導型電子放出素子において、少なくとも導電性薄膜の一部にダイヤモンドを主成分とする微粒子を有し、前記導電性薄膜とダイヤモンド微粒子との界面に金属炭化物、グラファイト、或いは非晶質カーボンのいずれかが存在して接合部をなすことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基体上に形成され対向する一対の素子電極と導電性薄膜、および電子放出部からなる電子放出素子において、少なくとも前記電子放出部にダイヤモンドを主成分とする微粒子を有しており、且つ該ダイヤモンド微粒子と前記導電性薄膜の界面に金属性炭化物、もしくはグラファイト、又は非晶質カーボンのいずれかが接合部として存在していることを特徴とする電子放出素子。
IPC (4件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
, H01L 49/00
H01J 1/30 A
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
, H01L 49/00
