磁気記録媒体の製造装置及び製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-188600
公開番号（公開出願番号）：特開平11-029853
出願日： 1997年07月14日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】磁性粒子の配向性を高め、更なる高密度記録を実現する薄膜型の磁気記録媒体の製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】本発明では、蒸発源から発せられた強磁性金属粒子を、連続的に移動する基材に対して斜めに入射させて被着させ、強磁性金属薄膜が形成されてなる磁気記録媒体を製造する際、上記基材と上記蒸発源との間にマスク12,13を配して強磁性金属粒子の基材表面への入射角を制御するとともに、スリット板14,15を配して強磁性金属粒子の散乱を防止する。

請求項（抜粋）：

蒸発源から発せられた強磁性金属粒子を、連続的に移動する基材に対して斜めに入射させて被着させることにより、基材上に強磁性金属薄膜が形成されてなる磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体の製造装置において、上記基材と上記蒸発源との間に配され、上記強磁性金属粒子の上記基材表面への最小入射角を制御する第1のマスクと、上記基材と上記蒸発源との間に配され、上記強磁性金属粒子の上記基材表面への最大入射角を制御する第2のマスクと、上記第1のマスクと上記蒸発源との間に配され、上記強磁性金属粒子の散乱を防止する第1のスリット板と、上記第2のマスクと上記蒸発源との間に配され、上記強磁性金属粒子の散乱を防止する第2のスリット板とを備え、上記第1のスリット板と上記第2のスリット板との間に形成されたスリットを介して、上記強磁性金属粒子を上記基材表面へ入射させて、上記基材上に強磁性金属薄膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。

IPC (7件)：

C23C 14/22 , C23C 14/14 , C23C 14/24 , C23C 14/34 , C23C 14/48 , C23C 14/56 , G11B 5/85

FI (7件)：

C23C 14/22 E , C23C 14/14 F , C23C 14/24 G , C23C 14/34 P , C23C 14/48 A , C23C 14/56 J , G11B 5/85 Z

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