特許

J-GLOBAL ID：200903069418154654

研磨砥石、その製造方法及び研磨装置

発明者： 安田 善哉
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-012085
公開番号（公開出願番号）：特開2000-210870
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：

【要約】【課題】 製造が簡易であり、長期間にわたって品質等の信頼性を維持することができる研磨砥石及びその製造方法並びにその研磨砥石を備えた研磨装置を提供すること。【解決手段】 研磨物の表面を平坦に研磨する研磨砥石20の砥石21を砥石ホルダ22に膨潤作用により嵌め込む。

請求項（抜粋）：

研磨物の表面を平坦に研磨する研磨砥石において、砥石が砥石ホルダに膨潤作用により嵌め込まれていることを特徴とする研磨砥石。

IPC (5件)：

B24D 3/00 310 ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/32 ,  B24D 7/16 ,  H01L 21/304 622

FI (5件)：

B24D 3/00 310 F ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/32 ,  B24D 7/16 ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (7件)：

3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA02 ,  3C063BC03 ,  3C063BC09 ,  3C063BH03 ,  3C063EE10