特許
J-GLOBAL ID:200903069424808810

高純度窒素ガス製造方法およびそれに用いる装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西藤 征彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-016209
公開番号(公開出願番号):特開平8-210770
出願日: 1995年02月02日
公開日(公表日): 1996年08月20日
要約:
【要約】【目的】大幅な需要量の変動に対応することができ、無駄のない運転が可能な高純度窒素ガス製造方法を提供する。【構成】製品窒素ガスの需要量が増加し精留塔26内の圧力が設定された圧力値を上回った際には、これを検出し、この検出結果に基づいて放出パイプ39からの気化液体空気の放出量を増加させて分縮器27内の圧力を下降させることにより精留塔26内の圧力を下降させて上記設定された圧力値まで戻すようにし、製品窒素ガスの需要量が減少し精留塔26内の圧力が上記設定された圧力値を下回った際には、これを検出し、この検出結果に基づいて放出パイプ39からの気化液体空気の放出量を減少させて分縮器27内の圧力を上昇させることにより精留塔26内の圧力を上昇させて上記設定された圧力値まで戻すようにしている。
請求項(抜粋):
原料空気を空気圧縮手段により圧縮して圧縮空気とし、この圧縮空気を除去手段に通して圧縮空気中の炭酸ガスと水分とを除去手段により除去したのち熱交換手段に通して超低温に冷却し、この超低温に冷却された圧縮空気を精留塔に投入し、その一部を液化して精留塔の底部に溜め窒素のみを気体として精留塔の上部側に滞留させ、この滞留させた窒素ガスの一部を精留塔の上部側から取出し製品窒素ガスとして窒素ガス取出路に案内するとともに、上記滞留させた窒素ガスの他部を精留塔の上部側から取出し精留塔の上部に設けられた凝縮器内蔵型の分縮器の上記凝縮器に案内し、精留塔の底部の貯溜液体空気を冷熱発生用膨脹器で気化して気化液体空気とし、この気化液体空気を凝縮器冷却用の寒冷として分縮器内に導き、この気化液体空気で凝縮器内に導かれた窒素ガスを液化して液化窒素とし、この液化窒素を圧縮空気液化用の還流液として精留塔内に戻し、分縮器内の気化液体空気を放出路から外部に放出する窒素ガス製造方法であって、製品窒素ガスの需要量が増加し精留塔内の圧力が設定された圧力値を上回った際には、これを検出し、この検出結果に基づいて放出路からの気化液体空気の放出量を増加させて分縮器内の圧力を下降させることにより精留塔内の圧力を下降させて上記設定された圧力値まで戻すようにし、製品窒素ガスの需要量が減少し精留塔内の圧力が上記設定された圧力値を下回った際には、これを検出し、この検出結果に基づいて放出路からの気化液体空気の放出量を減少させて分縮器内の圧力を上昇させることにより精留塔内の圧力を上昇させて上記設定された圧力値まで戻すようにしたことを特徴とする高純度窒素ガス製造方法。
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭64-054187
  • 特開昭59-115965
  • 特公昭46-034488
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