特許
J-GLOBAL ID：200903069426258140
単結晶引上げ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-107183
公開番号（公開出願番号）：特開平9-295888
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 強アルカリ雰囲気によるアルミナ製保持体や種子結晶保持部の劣化を抑制する。また、種子結晶の芯出しを容易に行えるようにする。【解決手段】 アルミナ管1の下端部側に複数の挿通孔3a、3bを長手方向に併設する。種子結晶2にも挿通孔に対応する複数の位置決め溝4a、4bを形成する。そして、アルミナ管1の下側から種子結晶2を挿入し、さらに貴金属製治具6の凸状支持部7a、7bを挿通孔3a、3bを介して位置決め溝4a、4bに挿入して種子結晶2を保持させる。このような単結晶保持部を有するアルミナ管1が配置された単結晶引上げ装置である。また、アルミナ管1の外周部に、貴金属管、貴金属箔の巻回体、貴金属溶射膜等を設ける。
請求項（抜粋）：
耐火るつぼと、前記耐火るつぼ内に配置され、単結晶原料が収容される貴金属製るつぼと、前記単結晶原料を溶融する原料溶融手段と、種子結晶を下端部に保持し、前記貴金属製るつぼ内の原料融液液面に対して垂設された管状のアルミナ製保持体と、前記アルミナ製保持体を回転させながら上昇させる回転引上げ機構とを具備し、前記種子結晶の保持部は、下端部側に複数の挿通孔が長手方向に併設された前記管状のアルミナ製保持体に、前記複数の挿通孔に対応する位置決め溝を有する前記種子結晶が挿入され、かつ前記複数の挿通孔および位置決め溝に対応する凸状支持部を有する貴金属製治具の前記凸状支持部を、前記挿通孔を介して前記位置決め溝に挿入して、前記種子結晶を保持するよう構成されていることを特徴とする単結晶引上げ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 15/30
, C30B 29/30 B
