特許

J-GLOBAL ID：200903069429197304

走査電子顕微鏡の性能評価用試料及びその製作方法

発明者： 鈴木 俊明
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-226571
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045265
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】 分解能の測定が簡単に行なえる走査電子顕微鏡の性能評価用試料およびその製作方法を提供すること。【構成】 蒸発源5からの金の蒸発粒子の内、被蒸着部材3の遮蔽部材のエッジQに衝突したものは、被蒸着部材3の表面(a〜e)に回りこんで吸着する。位置aに金の蒸発粒子が最も多く飛来し、位置e方向に進むに従ってその数が減少し、島状塊の成長に差が生じる。この為、位置aでの島状塊の平均粒径が最も大きくなり、位置e方向に進むに従ってそれは小さくなる。また、隣り合う島状塊の間隔は、位置e方向に進むに従って密になる。このような島状塊の平均粒径が一定方向に徐々に大きくなっている試料を電子顕微鏡の試料室にセットし、電子線を照射する位置を適宜選べば分解能の測定が簡単にできる。

請求項（抜粋）：

被蒸着部材に蒸着剤を蒸着させる事により形成された島状塊の平均粒径が一定方向に徐々に大きくなっている走査電子顕微鏡の性能評価用試料。