特許
J-GLOBAL ID：200903069432126779
ウエハ移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-166480
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349933
出願日： 1993年06月10日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 人手に頼ることなく、しかも短時間でウエハに対するウエハ接触部の切り替えを行うことができるウエハ移載装置を提供する。【構成】 先端部上面にウエハの下面を支持するためのウエハ接触部5を有し且つ上面側にテーパ面7が形成された第1の支持アーム1と、先端部上面に第1の支持アーム1のウエハ接触部5とはその接触面が異なる高さで配置されたウエハ接触部6を有し且つ下面側にテーパ面8が形成された第2の支持アーム2とを備えており、第1の支持アーム1と第2の支持アーム2とは、互いのテーパ面7、8が接触した状態でアーム伸長方向Xにおいて相対的にスライド自在に結合している。
請求項（抜粋）：
先端部上面にウエハの下面を支持するためのウエハ接触部を有するとともに、上面側にテーパ面が形成された第1の支持アームと、先端部上面に前記第1の支持アームのウエハ接触部とはその接触面が異なる高さで配置されたウエハ接触部を有するとともに、下面側にテーパ面が形成された第2の支持アームとを備え、前記第1の支持アームと前記第2の支持アームとは、互いのテーパ面が接触した状態でアーム伸長方向において相対的にスライド自在に結合していることを特徴とするウエハ移載装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, B65G 47/91
