リソグラフィ用途のための熱硬化性アンダーコート

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高木千嘉 , 結田純次 , 三輪昭次
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-502930
公開番号（公開出願番号）：特表2007-529037
出願日： 2005年03月09日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：

二重層のレリーフ画像を製造するための熱硬化性アンダーコート組成物であって、a)構造(II)、(III)及び(IV): 【化1】[ここで、R1は夫々独立に、水素原子、炭素数1〜3のアルキル基又はハロゲン原子を表し、Lは単結合、-COO-基又は-CON(R2)-基を表し、R2は水素原子又は炭素数1〜3のアルキル基を表し、Mは炭素数5〜7のシクロアルキレン基又は炭素数6〜18のアリーレン基を表し、Wは単結合、-COO-基、-O-、-(C=O)-又は-(SO2)-を表し、R3は水素原子、炭素数5〜30の置換されていないか又は置換された直鎖状アルキル基、炭素数5〜30の置換されていないか又は置換されたシクロアルキル基、炭素数5〜25の置換されていないか又は置換された架橋した脂環式炭化水素基、炭素数6〜18の置換されていないか又は置換されたアリール基又は炭素数7〜18のアリールアルキル基を表し、nは1〜3の整数を表し、qは0〜3の整数を表し、且つnとqの合計は5以下であり、R4は炭素数1〜10の直鎖状、分枝鎖状又は環状のアルキル基又はハロゲン基を表し、そしてR5は炭素数5〜30の直鎖状、分枝鎖状又は環状のアルキル基、置換されていないか又は置換された脂環基又は(R6O)tR7基(ここで、R6は炭素数1〜10の直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基を表し、R7は炭素数1〜30の直鎖状、分枝鎖状又は環状のアルキル基、置換されていないか又は置換された脂環基、又は置換されていないか又は置換された芳香族基又はアルキル芳香族基を表し、そしてtは1〜4の整数を表す)を表す]の繰返し単位を含む構造(I)のポリマー;b)フェノール系架橋剤;c)熱酸発生剤(TAG);及びd)溶剤を含む、熱硬化性アンダーコート組成物。

請求項（抜粋）：

a)構造II、III及びIV:

IPC (4件)：

G03F 7/11 , H01L 21/027 , C08F 220/10 , C08F 212/08

FI (4件)：

G03F7/11 503 , H01L21/30 573 , C08F220/10 , C08F212/08

Fターム (26件)：

2H025AA03 , 2H025AA17 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025DA34 , 2H025FA17 , 2H025FA35 , 2H025FA41 , 4J100AB02R , 4J100AB07Q , 4J100AL08P , 4J100AL08R , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC12P , 4J100BC12R , 4J100BC43R , 4J100BC44P , 4J100CA05 , 4J100JA38 , 5F046NA19

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