特許
J-GLOBAL ID：200903069437400534
半導体チップの電気特性測定装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-018669
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215199
出願日： 2002年01月28日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的は、測定ステージに4端子測定を可能とする比較的製作が容易な導電部を形成し半導体チップの裏面電極と測定ステージとの接触抵抗による測定誤差を減少させ、かつ、若干の位置ズレがあっても安定した接触が得られる半導体チップの電気特性測定装置及び方法を提供することである。【解決手段】 本発明に基づく電気特性測定装置のプローバ101は、吸着穴5を開口させ半導体チップ2を吸着保持する測定ステージ102と、半導体チップ2の表面電極2bに当接するプローブ針4a,4bと、測定ステージ102の表面に貼付けられている互いに対向し噛み合った2つの櫛歯状の導電パターン103,104を形成した絶縁フィルム105とで構成されている。
請求項（抜粋）：
表裏面に電極を有する半導体チップを載置する表面に導電部を有する測定ステージと、前記測定ステージに保持した前記半導体チップの前記表面電極に当接するプローブ針とを備え、前記測定ステージと前記プローブ針との間で前記半導体チップを介して通電し前記半導体チップの電気特性の測定をする装置において、前記導電部は絶縁薄板の上に形成した2つの導電パターンであることを特徴とする半導体チップの電気特性測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 J
, G01R 1/06 E
2G003AA10
, 2G003AB06
, 2G003AG03
, 2G003AG04
, 2G003AG12
, 2G003AH05
, 2G011AA00
, 2G011AB06
, 2G011AC14
, 2G011AC31
, 2G011AE03
, 2G011AF07
