特許
J-GLOBAL ID:200903069441830594
物体検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
板谷 康夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-173012
公開番号(公開出願番号):特開平9-329670
出願日: 1996年06月11日
公開日(公表日): 1997年12月22日
要約:
【要約】【課題】 光量変動をとらえるモニタ用受光素子を適切な位置に備えることにより、温度変化に伴う投光素子の光量変動やファイバ屈曲により生じた光量変動を補償し、微小物体や透明物体等の有無や表面状態を正確に検出する。【解決手段】 投光ファイバ2aの出射端2bにおける出射光をモニタするようにモニタ用受光素子7を配置し、このモニタ用受光素子7により、温度変化に伴う投光素子2の発光量変化やファイバ2a,7aの屈曲により生じた光量変動を補償するので、従来の物体検出装置では検出できなかったような微小な光量の変化をとらえることができ、透明体や微小物体等の検出物体3の正確な検出が可能となる。
請求項(抜粋):
検出光を出射する投光素子と、該検出光を導光しその出射端より検出物体に向けて投光する投光ファイバとからなる投光手段と、該投光の物体からの反射光又は透過光を受光する受光手段とを有し、該受光手段の出力から物体の有無又は表面状態等を検出する物体検出装置において、前記投光ファイバの出射端まで導光された光の一部をモニタ受光するモニタ用受光ファイバと、前記モニタ用受光ファイバの一端から得られた光を受光するモニタ用受光素子と、前記モニタ用受光素子により得られたモニタ受光量に基づいて、検出光の光量変動を補償する検出動作安定化手段とを備えたことを特徴とする物体検出装置。
IPC (8件):
G01V 8/16
, G01B 11/24
, G01J 1/02
, G01V 8/10
, G01V 8/12
, H01L 31/0232
, H01L 31/12
, H03K 17/78
FI (9件):
G01V 9/04 F
, G01B 11/24 F
, G01J 1/02 P
, H01L 31/12 E
, H03K 17/78 P
, H03K 17/78 B
, G01V 9/04 T
, G01V 9/04 K
, H01L 31/02 C
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